蒸脸器一般建议使用蒸馏水或纯净水，避免使用自来水或矿泉水。蒸馏水和纯净水不含矿物质和杂质，能减少水垢沉积和细菌滋生，对皮肤更安全。
蒸馏水通过高温蒸发和冷凝过程去除水中所有杂质和矿物质，使用后不会在蒸脸器内留下水垢，长期使用可延长设备寿命。纯净水经过多重过滤处理，同样能避免水垢问题，但需注意选择正规品牌确保水质达标。这两种水质温和无刺激，蒸汽接触皮肤时不会引发过敏或堵塞毛孔，适合敏感肌和日常护理。
自来水中含有钙镁离子等矿物质，加热后易形成水垢附着在蒸脸器内壁，可能影响出汽效率甚至损坏发热元件。部分地区的自来水还可能存在消毒副产物或微生物，直接使用可能刺激皮肤。矿泉水虽然含有益矿物质，但加热后矿物质浓度升高，可能引发皮肤干燥或敏感反应，尤其不适合频繁使用。
使用蒸脸器前应彻底清洁水箱，避免残留水分滋生细菌。每周可用白醋或柠檬酸溶液浸泡水箱除垢，使用后及时倒掉余水并晾干。蒸脸时间控制在5-10分钟，距离面部保持20-30厘米，敏感肌可缩短至3-5分钟。若皮肤出现发红或刺痛应立即停用，并咨询皮肤科医生。
